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原廠現(xiàn)貨??！EBARA荏原 干式真空泵 EV-X型

原廠現(xiàn)貨?。BARA荏原 干式真空泵 EV-X型 EV-X200N
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  • 更新時間：2025-03-21
  • 產(chǎn)品型號：EV-X200N
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 訪  問  量：12
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產(chǎn)品詳情

原廠現(xiàn)貨！！EBARA荏原 干式真空泵 EV-X型  EV-X200N

原廠現(xiàn)貨??！EBARA荏原 干式真空泵 EV-X型  EV-X200N


EV-X型

結(jié)構(gòu)緊湊、節(jié)能，單個裝置可覆蓋多種工藝

適用于中等負荷工藝
高溫控制
節(jié)能
采用耐腐蝕材料作為標準
提高耐腐蝕性的選擇
不同頻率下性能相同（50Hz/60Hz）
無油
符合 CE 標志/SEMI-S2/NRTL 要求
占地面積小

該款中負荷工序用干式真空泵搭載了荏原d特的節(jié)能技術(shù)，并采用了針對自動化工廠制造而優(yōu)化的模塊化設計，實現(xiàn)了進一步的小型化和節(jié)能化。
寬范圍的溫度控制擴大了適用工藝。
由于同一型號可覆蓋多個工藝，因此可優(yōu)化備用設備庫存，減少維護和培訓工作，并可靈活適應未來的工藝擴展。
此外，通過對各工序進行最佳溫度控制，可提高工序耐性，并可延長零件的更換周期，有助于降低TCoO。
支持的應用示例：各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長等。


產(chǎn)品規(guī)格

型式EV-X100NEV-X200NEV-X300N
最大處理風量(L/min)10,00020,00030,000
到達壓力(Pa)0.50.50.5
電源規(guī)格3相200-220V (50/60Hz)3相200-220V (50/60Hz)3相200-220V (50/60Hz)
到達底壓時消耗電力(kW)*0.911.5



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